(19)

(11)

EP 2 589 072 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 08.03.2012 (43) Veröffentlichungstag: 08.05.2013  Patentblatt  2013/19 (21) Anmeldenummer: 11730223.2 (22) Anmeldetag:  04.07.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/48(2006.01) H01L 23/498(2006.01) H01L 23/15(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/003300 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/000685 (05.01.2012 Gazette  2012/01)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 02.07.2010 DE 102010025966 (71) Anmelder: Schott AG 55122 Mainz (DE)	(72) Erfinder: JACKL, Oliver 31061 Alfeld (DE) (74) Vertreter: Blumbach Zinngrebe  Patentanwälte Alexandrastrasse 5 65187 Wiesbaden 65187 Wiesbaden (DE)