(19)

(11)

EP 2 591 498 A1

(12)

(43) Date de publication: 15.05.2013  Bulletin  2013/20 (21) Numéro de dépôt: 11746593.0 (22) Date de dépôt:  05.07.2011

(51) Int. Cl.:  H01L 21/60(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2011/000395 (87) Numéro de publication internationale: WO 2012/007655 (19.01.2012 Gazette  2012/03)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 06.07.2010 FR 1002846 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeur: BRUN, Jean F-38800 Champagnier (FR) (74) Mandataire: Talbot, Alexandre  Cabinet Hecké Europole 10, rue d'Arménie - BP 1537 38025 Grenoble Cedex 1 38025 Grenoble Cedex 1 (FR)