(19)

(11)

EP 2 591 514 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 15.05.2013  Patentblatt  2013/20 (21) Anmeldenummer: 11754280.3 (22) Anmeldetag:  03.06.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 39/14(2006.01) H01L 45/00(2006.01) H01L 39/22(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2011/001167 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/003821 (12.01.2012 Gazette  2012/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 05.07.2010 DE 102010026098 (71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich Gmbh 52425 Jülich (DE)	(72) Erfinder: POPPE, Ulrich 52349 Düren (DE) WEBER, Dieter 52428 Jülich (DE) DIVIN, Yuriy 52428 Jülich (DE) FALEY, Mikhail 52428 Jülich (DE)