(19)
(11) EP 2 597 171 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
21.08.2019  Patentblatt  2019/34

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
10.07.2019  Patentblatt  2019/28

(21) Anmeldenummer: 13154999.0

(22) Anmeldetag:  24.09.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/00(2006.01)
C23C 14/08(2006.01)
 C23C 14/06(2006.01)
C23C 14/32(2006.01)

(54)

Verfahren zur Herstellung von kubischen Zirkonoxidschichten

Method for producing cubic zircon oxide layers

Procédé de fabrication de couches cubiques d'oxyde de zirconium

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 25.09.2009 US 245750 P

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
29.05.2013  Patentblatt  2013/22

(62) Anmeldenummer der früheren Anmeldung nach Art. 76 EPÜ:
10763334.9 / 2480699

(73) Patentinhaber: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
8808 Pfäffikon SZ (CH)

(72) Erfinder:
  • Ramm, Jürgen
    7304 Maienfeld (CH)
  • Widrig, Beno
    7310 Bad Ragaz (CH)

(74) Vertreter: Troesch Scheidegger Werner AG 
Schwäntenmos 14
8126 Zumikon
8126 Zumikon (CH)


(56) Entgegenhaltungen: : 
US-A- 5 518 597
 US-B1- 6 391 164
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).