(19)
(11) EP 2 598 453 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.06.2013  Patentblatt  2013/23

(21) Anmeldenummer: 11709348.4

(22) Anmeldetag:  22.02.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C03C 17/00(2006.01)
C23C 16/54(2006.01)
C23C 16/50(2006.01)
C23C 14/56(2006.01)
B65G 49/00(2006.01)
H01L 31/20(2006.01)
C23C 14/50(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/052575
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2011/107373 (09.09.2011 Gazette  2011/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 01.03.2010 EP 10154992

(71) Anmelder: Saint-Gobain Glass France
92400 Courbevoie (FR)

(72) Erfinder:
  • HARTWICH, Jessica
    82054 Sauerlach (DE)
  • KARG, Franz
    80689 München (DE)

(74) Vertreter: Gebauer, Dieter Edmund 
Splanemann Patentanwälte Partnerschaft Rumfordstraße 7
80469 München
80469 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR SUBSTRATPROZESSIERUNG