(19)

(11)

EP 2 599 112 A2

(12)

(88) Date of publication A3: 19.04.2012 (43) Date of publication: 05.06.2013 Bulletin 2013/23 (21) Application number: 11812914.7 (22) Date of filing: 28.06.2011

(51) International Patent Classification (IPC):  H01L 21/336(2006.01) H01L 29/78(2006.01) H01L 21/8238(2006.01) H01L 27/092(2006.01) (86) International application number: PCT/US2011/042071 (87) International publication number: WO 2012/015550 (02.02.2012 Gazette 2012/05)

(84) Designated Contracting States: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priority: 06.03.2011 US 201113041405 06.03.2011 US 201113041406 28.01.2011 US 201113016313 16.12.2010 US 970602 22.11.2010 US 951924 22.11.2010 US 951913 18.11.2010 US 949617 07.11.2010 US 941075 07.11.2010 US 941074 07.11.2010 US 941073 13.10.2010 US 904108 13.10.2010 US 904119 11.10.2010 US 901890 07.10.2010 US 900379 30.09.2010 US 894252 19.08.2010 US 859665 03.08.2010 US 849272 30.07.2010 US 847911 (71) Applicants: Monolithic 3D Inc. San Jose, California 95124 (US) Or-Bach, Zvi San Jose, CA 95124 (US) Sekar, Deepak C. San Jose, CA 95118 (US) Cronquist, Brian San Jose, CA 95123 (US) Wurman, Zeev Palo Alto, CA 94303 (US)

(72) Inventors: OR-BACH, Zvi San Jose, California 95124 (US) SEKAR, Deepak C. San Jose, California 95118 (US) CRONQUIST, Brian San Jose, California 95123 (US) WURMAN, Zeev Palo Alto, California 94303 (US) (74) Representative: Rørdam, Troels Peter et al Awapatent A/S Rigensgade 11 1316 Copenhagen K 1316 Copenhagen K (DK)