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(11) | EP 2 599 896 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | Verfahren zur galvanischen Abscheidung wenigstens eines Metalls oder Halbleiters |
(57) Die vorliegenden Erfindung betrifft ein Verfahren zur galvanischen Abscheidung wenigstens
eines Metalls oder Halbleiters auf einem zu beschichtenden Substrat in einer galvanischen
Zelle mit einer Anode, einer Kathode sowie gewünschtenfalls eine Bezugselektrode,
die in einen Elektrolyten eingetaucht sind, wobei das zur Beschichtung verwendete
Metall oder Halbleiter dem Elektrolyten zugesetzt und/oder in Form der Anode eingesetzt
wird, das zu beschichtende Substrat als Kathode geschaltet und der Elektrolyt aus
ionischen Flüssigkeiten ausgewählt ist und wobei ein Potential in einer solchen Höhe
angelegt wird, dass durch den dabei induzierten Strom das Metall oder der Halbleiter
auf der Substratoberfläche galvanisch abgeschieden wird, wobei der Elektrolyt mit
einer organischen Flüssigkeit überschichtet ist, wobei die Schichtdicke der organischen
Flüssigkeit wenigstens 2 mm beträgt.
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