(19)
(11)
EP 2 601 327 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
12.06.2013
Patentblatt 2013/24
(21)
Anmeldenummer:
11757634.8
(22)
Anmeldetag:
16.09.2011
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
C23C
14/00
(2006.01)
H01L
21/67
(2006.01)
H01J
37/00
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/066152
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/037423
(
21.03.2013
Gazette 2013/12)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
(71)
Anmelder:
Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
01324 Dresden (DE)
(72)
Erfinder:
VON DER WAYDBRINK, Hubertus
01326 Dresden (DE)
(74)
Vertreter:
Lippert, Stachow & Partner
Patentanwälte Krenkelstrasse 3
01309 Dresden
01309 Dresden (DE)
(54)
VAKUUM-SUBSTRATBEHANDLUNGSANLAGE MIT NOTKÜHLEINRICHTUNG