(19)
(11) EP 2 601 327 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.06.2013  Patentblatt  2013/24

(21) Anmeldenummer: 11757634.8

(22) Anmeldetag:  16.09.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/00(2006.01)
H01L 21/67(2006.01)
H01J 37/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/066152
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2013/037423 (21.03.2013 Gazette  2013/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(71) Anmelder: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
01324 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • VON DER WAYDBRINK, Hubertus
    01326 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Lippert, Stachow & Partner 
Patentanwälte Krenkelstrasse 3
01309 Dresden
01309 Dresden (DE)

   


(54) VAKUUM-SUBSTRATBEHANDLUNGSANLAGE MIT NOTKÜHLEINRICHTUNG