(19)
(11) EP 2 603 449 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.06.2013  Patentblatt  2013/25

(21) Anmeldenummer: 11757194.3

(22) Anmeldetag:  12.08.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B81C 99/00(2010.01)
H01G 5/16(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/063974
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/020132 (16.02.2012 Gazette  2012/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 12.08.2010 AT 50710 U

(71) Anmelder:
  • Österreichische Akademie der Wissenschaften (ÖAW)
    1010 Wien (AT)
  • tecnet equity NÖ Technologiebeteiligungs-Invest GmbH
    3100 St. Pölten (AT)

(72) Erfinder:
  • SACHSE, Matthias
    A-2700 Wiener Neustadt (AT)

(74) Vertreter: Olgemöller, Luitgard Maria 
Lindenstraße 12a
81545 München
81545 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MEMS-VORRICHTUNG MIT HOHEM ASPEKTVERHÄLTNIS, SOWIE WANDLER UND KONDENSATOR