(19)
(11) EP 2 603 977 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
24.09.2014  Patentblatt  2014/39

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
06.08.2014  Patentblatt  2014/32

(21) Anmeldenummer: 11743507.3

(22) Anmeldetag:  05.08.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01D 5/24(2006.01)
G01R 27/26(2006.01)
 H03M 3/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/063568
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/019976 (16.02.2012 Gazette  2012/07)

(54)

KAPAZITÄTSMESSSCHALTUNG, SENSORSYSTEM UND VERFAHREN ZUM MESSEN EINER KAPAZITÄT UNTER VERWENDUNG EINES SINUSFÖRMIGEN SPANNUNGSSIGNALS

CAPACITANCE MEASUREMENT CIRCUIT, SENSOR SYSTEM AND METHOD FOR MEASURING A CAPACITANCE USING A SINUSOIDAL VOLTAGE SIGNAL

CIRCUIT DE MESURE DE CAPACITÉ, SYSTÈME DÉTECTEUR ET PROCÉDÉ DE MESURE D'UNE CAPACITÉ AU MOYEN D'UN SIGNAL DE TENSION SINUSOÏDAL

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 12.08.2010 DE 102010039272

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
19.06.2013  Patentblatt  2013/25

(73) Patentinhaber: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MÖDL, Stefan
    91161 Hilpoltstein (DE)
  • HAUER, Johann
    91058 Erlangen (DE)
  • SAUERER, Josef
    91074 Herzogenaurach (DE)

(74) Vertreter: Burger, Markus et al
Schoppe Zimmermann Stöckeler Zinkler & Partner Postfach 246
82043 Pullach
82043 Pullach (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
WO-A2-2006/098976
US-B1- 6 452 521
 DE-A1-102005 038 875
   
  • YUFENG DONG ET AL: "Force feedback linearization for higher-order electromechanical sigma-delta modulators; Force feedback linearization for higher-order electromechanical sigma--delta modulators", JOURNAL OF MICROMECHANICS & MICROENGINEERING, INSTITUTE OF PHYSICS PUBLISHING, BRISTOL, GB, Bd. 16, Nr. 6, 1. Juni 2006 (2006-06-01), Seiten S54-S60, XP020105018, ISSN: 0960-1317, DOI: 10.1088/0960-1317/16/6/S09
  • CHONG ZHANG ET AL: "A large dynamic range CMOS readout circuit for MEMS vibratory gyroscope", 2008 IEEE SENSORS,LECCE, ITALY, IEEE, PISCATAWAY, NJ, USA, 26. Oktober 2008 (2008-10-26), Seiten 1123-1126, XP031375276, DOI: 10.1109/ICSENS.2008.4716638 ISBN: 978-1-4244-2580-8
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).