(19)

(11)

EP 2 606 314 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 05.07.2012 (43) Veröffentlichungstag: 26.06.2013  Patentblatt  2013/26 (21) Anmeldenummer: 11748874.2 (22) Anmeldetag:  19.08.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01D 5/347(2006.01) H01L 31/105(2006.01) G01D 5/244(2006.01) B23Q 7/06(2006.01) H01L 31/0203(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/CH2011/000186 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/022001 (23.02.2012 Gazette  2012/08)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 19.08.2010 CH 13422010 20.08.2010 CH 13432010 19.08.2010 CH 13412010 (71) Anmelder: ELESTA relays GmbH 7310 Bad Ragaz (CH)	(72) Erfinder: WAGNER, Jean-Jacques FL-9493 Mauren (LI) (74) Vertreter: Hasler, Erich et al Riederer Hasler & Partner Patentanwälte AG Elestastrasse 8 7310 Bad Ragaz 7310 Bad Ragaz (CH)