(19)
(11) EP 2 606 503 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.06.2013  Patentblatt  2013/26

(21) Anmeldenummer: 11758137.1

(22) Anmeldetag:  16.08.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
H05H 1/42(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/064075
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/022738 (23.02.2012 Gazette  2012/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 16.08.2010 DE 102010039365

(71) Anmelder: Forschungsverbund Berlin E.V.
12489 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • GESCHE, Roland
    63500 Seligenstadt (DE)
  • PORTEANU, Horia-Eugen
    13055 Berlin (DE)
  • KÜHN, Silvio
    16348 Wandlitz (DE)

(74) Vertreter: Scheffler, Marco 
Gulde Hengelhaupt Ziebig & Schneider Wallstrasse 58/59
10179 Berlin
10179 Berlin (DE)

   


(54) PLASMA-PROZESSE BEI ATMOSPHÄRENDRUCK