(19)
(11) EP 2 606 507 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.06.2013  Patentblatt  2013/26

(21) Anmeldenummer: 11758378.1

(22) Anmeldetag:  10.08.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/02(2006.01)
H01L 21/203(2006.01)
 H01L 21/20(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/004001
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/022442 (23.02.2012 Gazette  2012/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 19.08.2010 DE 102010034886

(71) Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Wissenschaft E.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LEUTHER, Arnulf
    79283 Bollschweil (DE)
  • TESSMANN, Axel
    79194 Gundelfingen (DE)
  • LÖSCH, Rainer
    79268 Boetzingen (DE)

(74) Vertreter: Lemcke, Brommer & Partner 
Patentanwälte Bismarckstraße 16
D-76133 Karlsruhe
D-76133 Karlsruhe (DE)

   


(54) PSEUDOSUBSTRAT ZUR VERWENDUNG BEI DER HERSTELLUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES PSEUDOSUBSTRATES