(19)

(11)

EP 2 612 343 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 10.07.2013  Patentblatt  2013/28 (21) Anmeldenummer: 11748398.2 (22) Anmeldetag:  24.08.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 37/34(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/064559 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/028515 (08.03.2012 Gazette  2012/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 03.09.2010 DE 102010040267 (71) Anmelder: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH 01324 Dresden (DE)	(72) Erfinder: HÜBNER, Armin 01279 Dresden (DE) HEINRICH, Hans-Jürgen 01900 Großröhrsdorf (DE) (74) Vertreter: Lippert, Stachow & Partner  Patentanwälte Krenkelstrasse 3 01309 Dresden 01309 Dresden (DE)