(19)

(11)

EP 2 614 173 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.07.2013  Patentblatt  2013/29 (21) Anmeldenummer: 11775935.7 (22) Anmeldetag:  19.10.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/10(2006.01) C23C 4/12(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/068225 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/062547 (18.05.2012 Gazette  2012/20)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 10.11.2010 EP 10190672 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: QUICK, Ludger 44141 Dortmund (DE) STAMM, Werner 45481 Mülheim an der Ruhr (DE)