(19)
(11) EP 2 614 174 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.07.2013  Patentblatt  2013/29

(21) Anmeldenummer: 11773246.1

(22) Anmeldetag:  19.10.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 4/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/068224
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/062546 (18.05.2012 Gazette  2012/20)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 09.11.2010 EP 10190473

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • NEUENHAHN, Thomas
    50733 Köln (DE)
  • CASU, Alessandro
    47057 Duisburg (DE)
  • MENKE, Christian
    45329 Essen (DE)

   


(54) PORÖSES SCHICHTSYSTEM MIT PORÖSERER INNENSCHICHT