(19)

(11)

EP 2 616 576 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 24.07.2013  Patentblatt  2013/30 (21) Anmeldenummer: 11763613.4 (22) Anmeldetag:  31.08.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C30B 27/00(2006.01) H01L 21/02(2006.01) H01L 21/20(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/064960 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/034853 (22.03.2012 Gazette  2012/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 16.09.2010 DE 102010040860 (71) Anmelder: Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg 39106 Magdeburg (DE)	(72) Erfinder: DADGAR, Armin 10555 Berlin (DE) KROST, Alois 13589 Berlin (DE) (74) Vertreter: Gulde Hengelhaupt Ziebig & Schneider  Patentanwälte - Rechtsanwälte Wallstrasse 58/59 10179 Berlin 10179 Berlin (DE)