(19)
(11) EP 2 619 620 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
31.07.2013  Patentblatt  2013/31

(21) Anmeldenummer: 11785407.5

(22) Anmeldetag:  18.11.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 21/06(2006.01)
H01L 33/58(2010.01)
 G02B 6/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/070420
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/069367 (31.05.2012 Gazette  2012/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 23.11.2010 DE 102010061786

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • STOCKMANN, Michael
    83052 Bruckmühl (DE)
  • GERHARD, Detlef
    81829 München (DE)
  • HEIM, Ralf
    85375 Neufahrn (DE)
  • SCHICK, Anton
    84149 Velden (DE)

(74) Vertreter: Wolff, Harry 
Siemens AG Postfach 22 16 34
80506 München
80506 München (DE)

   


(54) MIKROSKOPBELEUCHTUNG UND MIKROSKOP