(19)
(11) EP 2 619 792 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
31.07.2013  Patentblatt  2013/31

(21) Anmeldenummer: 11739047.6

(22) Anmeldetag:  29.07.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/98(2006.01)
H01L 25/10(2006.01)
H01L 23/31(2006.01)
 H01L 25/065(2006.01)
H01L 25/16(2006.01)
H01L 21/56(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/063070
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/038127 (29.03.2012 Gazette  2012/13)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 21.09.2010 DE 102010041129

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHOLZ, Ulrike
    70825 Korntal (DE)
  • REICHENBACH, Ralf
    73732 Esslingen (DE)

   


(54) MULTIFUNKTIONSSENSOR ALS POP-MWLP