(19)

(11)

EP 2 621 633 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.08.2013  Patentblatt  2013/32 (21) Anmeldenummer: 11779084.0 (22) Anmeldetag:  27.09.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B01L 3/00(2006.01) F04B 19/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/004816 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/041479 (05.04.2012 Gazette  2012/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 30.09.2010 DE 102010041833 (71) Anmelder: Institut Für Mikrotechnik Mainz GmbH 55129 Mainz (DE)	(72) Erfinder: DRESE, Klaus-Stefan 55130 Mainz (DE) LATTA, Daniel 55128 Mainz (DE) RITZI-LEHNERT, Marion 88437 Laupertshausen (DE) RÖSER, Tina 56754 Brohl (DE)