(19)

(11)

EP 2 622 111 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 05.07.2012 (43) Veröffentlichungstag: 07.08.2013  Patentblatt  2013/32 (21) Anmeldenummer: 11827768.0 (22) Anmeldetag:  22.09.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/12(2006.01) B05B 15/02(2006.01) B05B 7/22(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2011/075229 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/048703 (19.04.2012 Gazette  2012/16)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 29.09.2010 DE 202010008661 U (71) Anmelder: Technische Universität Chemnitz 09107 Chemnitz (DE)	(72) Erfinder: PACZKOWSKI, Gerd 08349 Johanngeorgenstadt (DE) RUPPRECHT, Christian 09120 Chemnitz (DE) WIELAGE, Bernhard 32805 Horn-Bad Meinberg (DE) (74) Vertreter: Rumrich, Gabriele  Patentanwältin Limbacher Strasse 305 09116 Chemnitz 09116 Chemnitz (DE)