(19)

(11)

EP 2 628 172 A1

(12)

(43) Date de publication: 21.08.2013  Bulletin  2013/34 (21) Numéro de dépôt: 11769841.5 (22) Date de dépôt:  06.10.2011

(51) Int. Cl.:  H01L 21/336(2006.01) H01L 29/417(2006.01) H01L 29/45(2006.01) H01L 21/84(2006.01) H01L 29/423(2006.01) H01L 29/786(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2011/067504 (87) Numéro de publication internationale: WO 2012/049071 (19.04.2012 Gazette  2012/16)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 11.10.2010 FR 1058246 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: KATSAROS, Georgios F-38000 Grenoble (FR) DE FRANCESCHI, Silvano F-38600 Fontaine (FR) (74) Mandataire: Ilgart, Jean-Christophe  BREVALEX 95 rue d'Amsterdam 75378 Paris Cedex 8 75378 Paris Cedex 8 (FR)