(19)

(11)

EP 2 628 178 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 12.07.2012 (43) Veröffentlichungstag: 21.08.2013  Patentblatt  2013/34 (21) Anmeldenummer: 11810567.5 (22) Anmeldetag:  07.09.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/49(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2011/075214 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/062300 (18.05.2012 Gazette  2012/20)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 12.10.2010 DE 102010038130 (71) Anmelder: Technische Universität Berlin 10623 Berlin (DE)	(72) Erfinder: MIDDENDORF, Andreas 14532 Kleinmachnow (DE) (74) Vertreter: Bittner, Thomas L.  Boehmert & Boehmert Pettenkoferstrasse 20-22 80336 München 80336 München (DE)