(19)
(11) EP 2 631 488 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
17.08.2016  Patentblatt  2016/33

(43) Veröffentlichungstag A2:
28.08.2013  Patentblatt  2013/35

(21) Anmeldenummer: 12188584.2

(22) Anmeldetag:  15.10.2012
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
F04D 23/00(2006.01)
 F04D 17/16(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 23.02.2012 DE 102012003680

(71) Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH
35614 Asslar (DE)

(72) Erfinder:
  • Shirinov, Aleksandr, Dr. Ing.
    35576 Wetzlar (DE)
  • Stoll, Tobias, Dipl. Ing.
    35644 Hohenahr (DE)
  • Schweighöfer, Michael, Dipl. Ing.
    35641 Schöffengrund (DE)
  • Hofmann, Jan, Dipl. Phys.
    35305 Grünberg (DE)

(74) Vertreter: Manitz, Finsterwald & Partner GbR 
Martin-Greif-Strasse 1
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) Vakuumpumpe


(57) Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit wenigstens einer molekularen Pumpstufe (12), insbesondere einer Holweckstufe, welche ein Rotororgan (34) umfasst, das die pumpaktive Fläche (50) der molekularen Pumpstufe (12) bildet, und mit wenigstens einer stromabwärts der molekularen Pumpstufe angeordneten Seitenkanalpumpstufe (18), welche mehrere Rotorelemente (48) umfasst, wobei die Rotorelemente der Seitenkanalpumpstufe von dem Rotororgan (34) der molekularen Pumpstufe getragen sind. Die Seitenkanalpumpstufe (18) kann ferner zwischen einem Pumpeneinlass (24) und der molekularen Pumpstufe (12, 14, 116, 118) angeordnet sein.







Recherchenbericht















Recherchenbericht