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(11) | EP 2 632 851 A1 |
(12) |
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(54) | DIELEKTRISCHE SCHICHT FÜR EIN ELEKTRISCHES BAUELEMENT, ELEKTRISCHES BAUELEMENT MIT DIELEKTRISCHER SCHICHT UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES ELEKTRISCHEN BAUELEMENTS MIT DIELEKTRISCHER SCHICHT |