(19)
(11) EP 2 633 367 A1

(12)

(43) Date de publication:
04.09.2013  Bulletin  2013/36

(21) Numéro de dépôt: 11773471.5

(22) Date de dépôt:  25.10.2011
(51) Int. Cl.: 
G03F 7/20(2006.01)
G02B 21/02(2006.01)
 G02B 15/14(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2011/068587
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2012/055833 (03.05.2012 Gazette  2012/18)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorité: 29.10.2010 FR 1058972

(71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeur:
  • POLESEL, Jerôme
    F-91190 Gif-sur-yvette (FR)

(74) Mandataire: Lebkiri, Alexandre 
Cabinet Camus Lebkiri 87 Rue Taitbout
75009 Paris
75009 Paris (FR)

   


(54) DISPOSITIF DE PROJECTION HOMOTHETIQUE D'UN MOTIF A LA SURFACE D'UN ECHANTILLON, PROCEDE DE LITHOGRAPHIE UTILISANT UN TEL DISPOSITIF