(19)
(11) EP 2 633 528 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.09.2013  Patentblatt  2013/36

(21) Anmeldenummer: 11770377.7

(22) Anmeldetag:  13.10.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G21K 1/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/005141
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/055495 (03.05.2012 Gazette  2012/18)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 28.10.2010 DE 102010049994

(71) Anmelder: Karlsruher Institut Für Technologie (KIT)
76131 Karlsruhe (DE)

(72) Erfinder:
  • MOHR, Jürgen
    75056 Sulzfeld (DE)
  • LAST, Arndt
    76137 Karlsruhe (DE)
  • NAZMOV, Vladimir
    76351 Linkenheim-Hochstetten (DE)
  • SIMON, Markus
    79100 Freiburg (DE)
  • GRUND, Thomas
    76135 Karlsruhe (DE)
  • KENNTNER, Johannes
    70825 Münchingen (DE)

   


(54) RESISTSTRUKTUR ZUR HERSTELLUNG EINER RÖNTGENOPTISCHEN GITTERSTRUKTUR