(19)
(11) EP 2 635 884 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.09.2013  Patentblatt  2013/37

(21) Anmeldenummer: 11769813.4

(22) Anmeldetag:  21.09.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01L 1/00(2006.01)
G01L 9/00(2006.01)
 G01L 7/08(2006.01)
G01P 15/08(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/066393
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/059266 (10.05.2012 Gazette  2012/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 03.11.2010 DE 102010043277

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • FUCHS, Tino
    72076 Tuebingen (DE)

   


(54) MIKROELEKTROMECHANISCHER SENSOR ZUR MESSUNG EINER KRAFT SOWIE ENTSPRECHENDES VERFAHREN