(19)

(11)

EP 2 636 062 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 26.07.2012 (43) Veröffentlichungstag: 11.09.2013  Patentblatt  2013/37 (21) Anmeldenummer: 11810558.4 (22) Anmeldetag:  28.10.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/15(2006.01) G01K 7/18(2006.01) H01L 23/34(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2011/001905 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/062274 (18.05.2012 Gazette  2012/20)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 05.11.2010 DE 102010050315 (71) Anmelder: Danfoss Silicon Power GmbH 24941 Flensburg (DE)	(72) Erfinder: EISELE, Ronald 24229 Surendorf (DE) (74) Vertreter: Lobemeier, Martin Landolf  Boehmert & Boehmert Anwaltssozietät Niemannsweg 133 24105 Kiel 24105 Kiel (DE)