(19)

(11)

EP 2 636 073 A1

(12)

(43) Date de publication: 11.09.2013  Bulletin  2013/37 (21) Numéro de dépôt: 11788388.4 (22) Date de dépôt:  28.10.2011

(51) Int. Cl.:  H01L 31/18(2006.01) H01L 21/322(2006.01) H01L 31/04(2006.01) H01L 31/028(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2011/068991 (87) Numéro de publication internationale: WO 2012/059426 (10.05.2012 Gazette  2012/19)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 02.11.2010 FR 1058997 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: POCHET, Pascal F-38140 La Murette (FR) DUBOIS, Sébastien F-74950 Scionzier (FR) (74) Mandataire: Esselin, Sophie et al Marks & Clerk France Conseils en Propriété Industrielle Immeuble Visium 22, Avenue Aristide Briand 94117 Arcueil Cedex 94117 Arcueil Cedex (FR)