(19)
(11) EP 2 638 567 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
23.08.2012

(43) Veröffentlichungstag:
18.09.2013  Patentblatt  2013/38

(21) Anmeldenummer: 11833588.4

(22) Anmeldetag:  11.11.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/677(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2011/001977
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/062288 (18.05.2012 Gazette  2012/20)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 11.11.2010 DE 102010050918

(71) Anmelder: Zimmermann & Schilp Handhabungstechnik GmbH
93055 Regensburg (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHILP, Michael
    93047 Regensburg (DE)
  • ZITZMANN, Adolf
    92552 Teunz (DE)
  • ZIMMERMANN, Josef
    93047 Regensburg (DE)

(74) Vertreter: Staudte, Ralph 
Balanstraße 57
81541 München
81541 München (DE)

   


(54) BELADE- UND ENTLADEVERFAHREN FÜR EINE PROZESSKASSETTE