Es wird eine Vorrichtung (200) zur Erzeugung eines Plasmas offenbart, die eine als Hohlraum ausgebildete Plasmaquelle (241) und einen Resonator (201) aufweist, welcher einen Wellenleiter (211, 212, 2131) und die Plasmaquelle (241) umfasst, wobei der Wellenleiter (212, 213) mit der Plasmaquelle (241) wirkverbunden ist; die Vorrichtung (200) ein erstes Kopplungsmittel (231) zur Energie-Einspeisung (251) und ein zweites Kopplungsmittel (232) zur Energie-Auskopplung (252) aufweist, wobei jedes Kopplungsmittel (231, 232) Energie- und Signal- führend (251, 252) mit dem Wellenleiter wirkverbunden ist; die Vorrichtung ein aktives Element (261) zur Energieversorgung des Resonators (201) aufweist, welches mit dem ersten (231) und mit dem zweiten (232) Kopplungsmittel wirkverbunden ist, wobei die Plasmaquelle (241) zumindest teilweise in einem Bereich des Wellenleiters (211, 212, 213) integriert ist, der sich zwischen dem ersten Kopplungsmittel (231) und dem zweiten Kopplungsmittel (232) erstreckt.