(19)
(11) EP 2 643 728 A1

(12)

(43) Date de publication:
02.10.2013  Bulletin  2013/40

(21) Numéro de dépôt: 11799763.5

(22) Date de dépôt:  21.11.2011
(51) Int. Cl.: 
G02B 21/06(2006.01)
G02B 27/00(2006.01)
G02B 26/06(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2011/052717
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2012/069749 (31.05.2012 Gazette  2012/22)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorité: 22.11.2010 FR 1059590

(71) Demandeur: Ecole Polytechnique
91120 Palaiseau Cédex (FR)

(72) Inventeurs:
  • DEBARRE, Delphine
    F-75014 Paris (FR)
  • VIEILLE, Thibault
    F-78590 Noisy-le-Roy (FR)
  • BEAUREPAIRE, Emmanuel
    F-91120 Palaiseau (FR)
  • MARTIN, Jean-Louis
    F-91440 Bures sur Yvette (FR)

(74) Mandataire: Coralis Harle 
14-16 Rue Ballu
75009 Paris
75009 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE ET SYSTEME DE CALIBRATION D'UN MODULATEUR OPTIQUE SPATIAL DANS UN MICROSCOPE OPTIQUE