(19)
(11) EP 2 643 850 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.10.2013  Patentblatt  2013/40

(21) Anmeldenummer: 11796619.2

(22) Anmeldetag:  25.11.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/687(2006.01)
H01L 21/677(2006.01)
 H01L 21/673(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/005948
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/069208 (31.05.2012 Gazette  2012/22)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 26.11.2010 DE 102010052689

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • REINWAND, Dirk
    79110 Freiburg (DE)
  • HOFMANN, Marc
    79279 Vörstetten (DE)
  • TROGUS, Daniel
    79110 Freiburg (DE)
  • HARTMANN, Philip
    79106 Freiburg (DE)
  • NEKARDA, Jan-Frederik
    79194 Gundelfingen (DE)
  • RENTSCH, Jochen
    79312 Emmendingen (DE)
  • PREU, Ralf
    79117 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 13
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) SUBSTRATHALTER FÜR DIE OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON SUBSTRATEN UND VERWENDUNG DES SUBSTRATHALTERS