(19)
(11) EP 2 644 900 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
19.08.2015  Patentblatt  2015/34

(43) Veröffentlichungstag A2:
02.10.2013  Patentblatt  2013/40

(21) Anmeldenummer: 13156718.2

(22) Anmeldetag:  26.02.2013
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04D 19/04(2006.01)
 F04D 27/00(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 30.03.2012 DE 102012102761
04.07.2012 DE 102012105951

(71) Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH
35614 Aßlar (DE)

(72) Erfinder:
  • Burggraf, Thorsten
    65594 Runkel (DE)
  • Stoll, Tobias
    35644 Hohenahr (DE)
  • Hofmann, Jan
    35305 Grünberg (DE)

(74) Vertreter: Knefel, Cordula 
Wertherstrasse 16
35578 Wetzlar
35578 Wetzlar (DE)

   


(54) Pumpensystem zur Evakuierung von Gas aus einer Mehrzahl von Kammern sowie Verfahren zur Steuerung des Pumpensystems


(57) Die Erfindung betrifft ein Pumpensystem zur Evakuierung von Gas aus einer Mehrzahl von Kammern mit wenigstens drei Vakuumpumpen, wobei wenigstens zwei Vorpumpen und wenigstens eine Turbomolekularpumpe vorgesehen sind, wobei in wenigstens einer Verbindungsleitung zwischen den wenigstens zwei Vorpumpen wenigstens eine Querschnittsverengung zur Regelung des Gasstromes vorgesehen ist. Darüber hinaus betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Steuerung des Pumpensystems. (Fig. 2).







Recherchenbericht









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