| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
| (30) |
Priorität: |
30.03.2012 DE 102012205308
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| (43) |
Veröffentlichungstag der Anmeldung: |
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02.10.2013 Patentblatt 2013/40 |
| (73) |
Patentinhaber: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor
Manufacturing GmbH |
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71254 Ditzingen (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- Schulz, Joachim
70839 Gerlingen (DE)
- Mueller, Oliver
71696 Möglingen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Prüfer & Partner GbR
European Patent Attorneys |
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Sohnckestraße 12 81479 München 81479 München (DE) |
| (56) |
Entgegenhaltungen: :
US-A- 3 575 671 US-A1- 2007 091 973
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US-A1- 2002 105 994 US-A1- 2010 117 009
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- TILAK HEWAGAMA ET AL: "ANOMALOUS GAIN IN AN ISOTOPICALLY MIXED CO2 LASER AND APPLICATION
TO ABSOLUTE WAVELENGTH CALIBRATION", IEEE JOURNAL OF QUANTUM ELECTRONICS, IEEE SERVICE
CENTER, PISCATAWAY, NJ, USA, Bd. 27, Nr. 3, 1. März 1991 (1991-03-01), Seiten 465-470,
XP000371680, ISSN: 0018-9197, DOI: 10.1109/3.81348
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