(19)
(11) EP 2 645 494 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
18.11.2015  Patentblatt  2015/47

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
14.10.2015  Patentblatt  2015/42

(21) Anmeldenummer: 13159399.8

(22) Anmeldetag:  15.03.2013
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01S 3/10(2006.01)
H01S 3/223(2006.01)
H01S 3/225(2006.01)
H01S 3/034(2006.01)
H01S 3/07(2006.01)

(54)

Vorrichtung zur Verstärkung eines Laserstrahls

Device for laser beam amplification

Dispositif pour amplifier un rayon laser


(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 30.03.2012 DE 102012205308

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
02.10.2013  Patentblatt  2013/40

(73) Patentinhaber: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH
71254 Ditzingen (DE)

(72) Erfinder:
  • Schulz, Joachim
    70839 Gerlingen (DE)
  • Mueller, Oliver
    71696 Möglingen (DE)

(74) Vertreter: Prüfer & Partner GbR European Patent Attorneys 
Sohnckestraße 12
81479 München
81479 München (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
US-A- 3 575 671
US-A1- 2007 091 973
US-A1- 2002 105 994
US-A1- 2010 117 009
   
  • TILAK HEWAGAMA ET AL: "ANOMALOUS GAIN IN AN ISOTOPICALLY MIXED CO2 LASER AND APPLICATION TO ABSOLUTE WAVELENGTH CALIBRATION", IEEE JOURNAL OF QUANTUM ELECTRONICS, IEEE SERVICE CENTER, PISCATAWAY, NJ, USA, Bd. 27, Nr. 3, 1. März 1991 (1991-03-01), Seiten 465-470, XP000371680, ISSN: 0018-9197, DOI: 10.1109/3.81348
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).