(19)

(11)

EP 2 646 595 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.10.2013  Patentblatt  2013/41 (21) Anmeldenummer: 11801971.0 (22) Anmeldetag:  30.11.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/56(2006.01) B05B 13/00(2006.01) C23C 16/44(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/005997 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/072246 (07.06.2012 Gazette  2012/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 30.11.2010 DE 102010052761 (71) Anmelder: Leybold Optics GmbH 63775 Alzenau (DE)	(72) Erfinder: CASPARI, Andreas 66606 St. Wendel (DE) NOVAK, Emmerich Manfred 14797 kloster Lehnin (DE) (74) Vertreter: Pohlmann, Bernd Michael  Reinhardt & Pohlmann Patentanwälte Rossmarkt 12 60311 Frankfurt am Main 60311 Frankfurt am Main (DE)