(19)
(11) EP 2 646 596 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.10.2013  Patentblatt  2013/41

(21) Anmeldenummer: 11788773.7

(22) Anmeldetag:  24.11.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/02(2006.01)
C23C 16/27(2006.01)
C23C 16/511(2006.01)
C23C 16/26(2006.01)
C23C 16/505(2006.01)
H01J 37/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/005919
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/072215 (07.06.2012 Gazette  2012/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 29.11.2010 DE 102010052838
25.01.2011 DE 102011009347

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MEIER, Sven
    79194 Gundelfingen (DE)

(74) Vertreter: Gagel, Roland 
Patentanwalt Dr. Roland Gagel Landsberger Strasse 480a
81241 München
81241 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES KOHLENSTOFFHALTIGEN SCHICHTSYSTEMS SOWIE VORRICHTUNG ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS