(19)
(11) EP 2 646 804 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.10.2013  Patentblatt  2013/41

(21) Anmeldenummer: 11820888.3

(22) Anmeldetag:  28.11.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 21/64(2006.01)
G01T 1/10(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2011/002080
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/097770 (26.07.2012 Gazette  2012/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 30.11.2010 DE 102011053723

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HAERTLING, Thomas
    01187 Dresden (DE)
  • MAYER, Anton
    82205 Gilching (DE)
  • OPITZ, Jörg
    01219 Dresden (DE)
  • SCHREIBER, Jürgen
    01189 Dresden (DE)
  • DERENKO, Susan
    01099 Dresden (DE)
  • WETZEL, Christiane
    01217 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Hempel, Hartmut 
Patentanwaltskanzlei, Jagdweg 10
01159 Dresden
01159 Dresden (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM PRÜFEN VON AUF OBJEKTE ENERGIEEINTRAGENDEN BEHANDLUNGEN