(19)

(11)

EP 2 647 061 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 30.05.2013 (43) Veröffentlichungstag: 09.10.2013  Patentblatt  2013/41 (21) Anmeldenummer: 11815752.8 (22) Anmeldetag:  11.11.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/18(2006.01) H01L 27/142(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2011/001974 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/072062 (07.06.2012 Gazette  2012/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 01.12.2010 DE 102010052863 (71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich Gmbh 52425 Jülich (DE)	(72) Erfinder: BUNTE, Eerke 52428 Jülich (DE) ZWAYGARDT, Brigitte 52428 Jülich (DE)