(19)
(11) EP 2 647 264 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.10.2013  Patentblatt  2013/41

(21) Anmeldenummer: 11788095.5

(22) Anmeldetag:  10.11.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05H 1/26(2006.01)
 H01L 21/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/069854
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/072401 (07.06.2012 Gazette  2012/23)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 03.12.2010 DE 102010062386

(71) Anmelder: Evonik Degussa GmbH
45128 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • STENNER, Patrik
    63452 Hanau (DE)
  • PATZ, Matthias
    46240 Bottrop (DE)
  • CÖLLE, Michael
    90596 Schwanstetten (DE)
  • WIEBER, Stephan
    76137 Karlsruhe (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM KONVERTIEREN VON HALBLEITERSCHICHTEN