(19)
(11) EP 2 649 646 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
27.09.2012

(43) Veröffentlichungstag:
16.10.2013  Patentblatt  2013/42

(21) Anmeldenummer: 11770426.2

(22) Anmeldetag:  14.10.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 25/16(2006.01)
G01C 19/56(2012.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/068003
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/076223 (14.06.2012 Gazette  2012/24)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 07.12.2010 DE 102010062559

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • PIRK, Tjalf
    70195 Stuttgart (DE)
  • WAGNER, Thomas
    71229 Leonberg (DE)
  • FEYH, Ando
    Palo Alto Mississippi 94306 (US)
  • BISCHOPINK, Georg
    72124 Pliezhausen (DE)
  • FRANKE, Axel
    71254 Ditzingen (DE)

   


(54) MIKROELEKTROMECHANISCHES SENSORMODUL SOWIE ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN