(19)
(11) EP 2 652 169 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.10.2013  Patentblatt  2013/43

(21) Anmeldenummer: 11831820.3

(22) Anmeldetag:  15.12.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/02(2006.01)
C23C 16/30(2006.01)
C23C 16/515(2006.01)
 C23C 16/04(2006.01)
C23C 16/511(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2011/002159
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/089196 (05.07.2012 Gazette  2012/27)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 15.12.2010 DE 102010055155

(71) Anmelder: KHS Corpoplast GmbH
22145 Hamburg (DE)

(72) Erfinder:
  • ANDERSEN, Arne
    22043 Hamburg (DE)
  • HERBORT, Michael
    20535 Hamburg (DE)
  • SIEBELS, Sönke
    22303 Hamburg (DE)

(74) Vertreter: Hausfeld, Norbert 
Meissner Bolte & Partner GbR Beselerstraße 6
22607 Hamburg
22607 Hamburg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR PLASMABEHANDLUNG VON WERKSTÜCKEN SOWIE WERKSTÜCK MIT GASBARRIERESCHICHT