(19)
(11) EP 2 652 780 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.10.2013  Patentblatt  2013/43

(21) Anmeldenummer: 10797999.9

(22) Anmeldetag:  14.12.2010
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/683(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2010/007610
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/079597 (21.06.2012 Gazette  2012/25)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(71) Anmelder: Ev Group E. Thallner GmbH
4782 St. Florian am Inn (AT)

(72) Erfinder:
  • WIMPLINGER, Markus
    AT-4910 Ried im Innkreis (AT)
  • WAGENLEITNER, Thomas
    AT-4971 Aurolzmünster (AT)
  • FILBERT, Alexander
    AT-4782 St. Florian am Inn (AT)

(74) Vertreter: Schweiger, Johannes 
Patentanwälte Becker & Müller Turmstrasse 22
40878 Ratingen
40878 Ratingen (DE)

   


(54) AUFNAHMEEINRICHTUNG ZUR AUFNAHME UND HALTERUNG EINES WAFERS