(19)

(11)

EP 2 652 781 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 23.10.2013  Patentblatt  2013/43 (21) Anmeldenummer: 11807640.5 (22) Anmeldetag:  14.12.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/683(2006.01) H01L 21/687(2006.01) H01L 21/677(2006.01) H02N 13/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/006307 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/079750 (21.06.2012 Gazette  2012/25)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 14.12.2010 DE 102010054483 (71) Anmelder: Manz AG 72768 Reutlingen (DE)	(72) Erfinder: SCHWARZ, Florian 63739 Aschaffenburg (DE) (74) Vertreter: Weilnau, Carsten  Quermann Sturm Weilnau Patentanwälte Unter den Eichen 7 65195 Wiesbaden 65195 Wiesbaden (DE)