(19)

(11)

EP 2 652 784 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 20.09.2012 (43) Veröffentlichungstag: 23.10.2013  Patentblatt  2013/43 (21) Anmeldenummer: 11788397.5 (22) Anmeldetag:  08.11.2011

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/492(2006.01) H01L 23/13(2006.01) H01L 23/495(2006.01) H01L 21/60(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2011/069662 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2012/079855 (21.06.2012 Gazette  2012/25)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 14.12.2010 DE 102010063021 (71) Anmelder: Robert Bosch GmbH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: WOLDE-GIORGIS, Daniel 70771 Leinfelden-Echterdingen (DE) KALICH, Thomas 72805 Lichtenstein (DE) SUESKE, Erik 72764 Reutlingen (DE)