(19)
(11) EP 2 655 683 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.10.2013  Patentblatt  2013/44

(21) Anmeldenummer: 11796665.5

(22) Anmeldetag:  08.12.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 4/00(2006.01)
C23C 28/00(2006.01)
 C23C 4/10(2006.01)
C23C 30/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/072184
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/107130 (16.08.2012 Gazette  2012/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 07.02.2011 EP 11153569

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KARMAZIN, Roman
    80939 München (DE)
  • LAMPENSCHERF, Stefan
    85586 Poing (DE)

   


(54) MATERIAL MIT PYROCHLORSTRUKTUR MIT TANTAL, VERWENDUNG DES MATERIALS, SCHICHTSYSTEM UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SCHICHTSYSTEMS