(19)
(11) EP 2 655 685 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
30.10.2013  Patentblatt  2013/44

(21) Anmeldenummer: 11811328.1

(22) Anmeldetag:  23.12.2011
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/22(2006.01)
H01L 21/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2011/006543
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2012/084261 (28.06.2012 Gazette  2012/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 23.12.2010 DE 102010055564

(71) Anmelder: Johann Wolfgang Goethe-Universität Frankfurt am Main
60438 Frankfurt am Main (DE)

(72) Erfinder:
  • HUTH, Michael
    61250 Usingen (DE)
  • TERFORT, Andreas
    25469 Halstenbek (DE)

(74) Vertreter: Walkenhorst, Andreas 
Tergau & Walkenhorst Patentanwälte - Rechtsanwälte Eschersheimer Landstrasse 105-107
60322 Frankfurt
60322 Frankfurt (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ABSCHEIDUNG VON SILIZIUM AUF EINEM SUBSTRAT