(19)
(11) EP 2 656 085 A1

(12)

(43) Date de publication:
30.10.2013  Bulletin  2013/44

(21) Numéro de dépôt: 11799102.6

(22) Date de dépôt:  20.12.2011
(51) Int. Cl.: 
G01Q 20/04(2010.01)
G01Q 60/42(2010.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2011/073466
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2012/084994 (28.06.2012 Gazette  2012/26)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorité: 22.12.2010 FR 1061038

(71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • POLESEL-MARIS, Jérôme
    F-91190 Gif Sur Yvette (FR)
  • BERTHELOT, Thomas
    F-91940 Les Ulis (FR)
  • VIEL, Pascal
    F-92190 Meudon (FR)

(74) Mandataire: Ilgart, Jean-Christophe 
BREVALEX 95 rue d'Amsterdam
75378 Paris Cedex 8
75378 Paris Cedex 8 (FR)

   


(54) SONDE DE MICROSCOPE À FORCE ATOMIQUE, SON PROCÉDÉ DE PRÉPARATION ET SES UTILISATIONS