(19)

(11)

EP 2 656 143 A1

(12)

(43) Date de publication: 30.10.2013  Bulletin  2013/44 (21) Numéro de dépôt: 11804568.1 (22) Date de dépôt:  21.12.2011

(51) Int. Cl.:  G03F 7/00(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2011/073705 (87) Numéro de publication internationale: WO 2012/085164 (28.06.2012 Gazette  2012/26)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorité: 22.12.2010 FR 1061018 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeur: PAULIAC, Sébastien F-38000 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Hautier, Nicolas  Cabinet Hautier 20, rue de la Liberté 06000 Nice 06000 Nice (FR)